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PRODUCTS CENTER美国TMC主动空气流平系统PEPS II,PEPS II 更易于使用,提供更多功能,并具有改进的用户界面。PEPS® II 是一种用于 TMC 气动隔振系统的数字非接触式高度控制系统。此类系统通常包括机械高度阀和机械高度传感联动装置。其应用范围从改善建立时间和提高产量的半导体制造设备,到需要最佳噪声性能和平台稳定性的精密实验室环境。
美国TMC气动隔振系统Electro-Damp II,专为提高半导体制造应用的吞吐量、分辨率和产量而设计。Electro-Damp II 是对原始系统的重新设计,增加了模块化、数字控制、前馈、高力/高间隙致动器以及多个数字用户界面,专为 OEM 应用(如微光刻、检测和计量工具)而设计。
美国TMC气动隔振系统,TMC 气动隔振系统是寻求超精密仪器隔振的工具设计师的解决方案。TMC 现在提供我们的行业标准 Gimbal Piston®、MaxDamp® 和 UltraDamp™ 隔振器,具有方便的容量、阻尼水平和调平版本,以适应广泛的应用。
美国TMC 压电主动压电消振平台STAGE-Base,TMC 不断应用先进技术开发新的解决方案,以满足半导体设备对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450 专为采用高精度电动 X-Y 平台的先进半导体工具而设计,是主要的、内部的、基于压电的消振系统。
美国TMC 压电主动压电消振激光工作平台,通常,光学平台由低频气动隔振系统支撑。虽然这些无源系统在隔离高频方面非常有效,但实际上会放大关键的 1 至 3 Hz 范围内的振动。 TMC 的 STACIS 技术通过专有技术克服了这些限制,该技术结合了压电致动器和惯性振动传感器,以消除而不是放大极低频振动。
美国TMC 压电主动压电消振平台TOOL-Base,TOOL-Base 是一款先进的主动压电地板振动消除平台,适用于超精密仪器和机械。 在 TOOL-Base 的支持下,对低频地板振动敏感的高精度工具和仪器现在可以安装在恶劣的环境中。它具有宽带宽的主动降噪和硬装设计,非常适合实验室、工厂、医院或其他嘈杂房间中的任何落地式工具。
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