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美国TMC气动隔振系统Electro-Damp II
产品简介

美国TMC气动隔振系统Electro-Damp II,专为提高半导体制造应用的吞吐量、分辨率和产量而设计。Electro-Damp II 是对原始系统的重新设计,增加了模块化、数字控制、前馈、高力/高间隙致动器以及多个数字用户界面,专为 OEM 应用(如微光刻、检测和计量工具)而设计。

产品型号:
更新时间:2024-10-23
厂商性质:其他
访问量:193
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美国TMC气动隔振系统Electro-Damp II 简介:

TMC 气动隔振系统是寻求超精密仪器隔振的工具设计师的解决方案。TMC 现在提供我们的行业标准 Gimbal Piston®、MaxDamp® 和 UltraDamp™ 隔振器,具有方便的容量、阻尼水平和调平版本,以适应广泛的应用。

这些隔离器采用模块化、可互换和可升级的设计,是 OEM 应用的理想选择。此外,为了确保您的版本能够满足您的稳定时间和隔离要求,TMC 工程师可以使用我们的“移动平台应用模型"对您的配置进行建模。




美国TMC气动隔振系统Electro-Damp II 特点

  • 六自由度主动减振系统

  • 非接触式电子高度控制器

  • 数字控制器

  • 前馈输入校正平台引起的有效载荷运动

  • 大载荷电磁致动器可单独提供或集成

  • 减少载物台诱导运动的有效载荷运动和稳定时间

  • 更高的通量、分辨率和产量

  • 模块化设计允许用户完整的单元或组件,以便于 OEM 集成

  • 自动调整前馈参数以减少设置

常规
稳定时间0.2 秒 **
活动自由度6
高度控制精度传感器处< 10 μm
线性执行器(水平和垂直)
直流电阻5 Ω
力常数高达 12 磅/年 |55 不适用
最大连续力25 磅 |110 牛
峰值推力 @ 7 A87 磅 |385 牛
电时间常数2.6 毫秒
中风0.25 英寸|6.4 毫米
横向间隙0.09 英寸|2.3 毫米
流浪场< 1 克 @ 2 英寸。
尺寸 (宽 x 深 x 高)2.8 x 6.8 x 4.5 英寸
71 x 173 x 114 毫米
阀门 (仅激活)
阀门类型比例 E/V 伺服
控件类型压力或空气流量
最大流量1.5 SCFM
耗气量(4 个隔离器)< 2 SCFM(无载物台运动)
- 3 dB 响应≤ 10 Hz(典型值)
调高传感器
类型非接触式感应(涡流)
电子配置两线制 NAMUR
三线制 30 或 18 mm 直径
范围15 mm 标称值(30 mm 导线
)6 mm 标称值(18 mm 导线)
分辨率< 1 μm
被动气动支架
标准容量1,000、2,500、3,300、5,700 磅 @ 80 磅/平方英寸
阻尼 (10:1)< 3 秒
DC-2020 数字控制器
处理器双核:
DSP @ 150 MHz & Cortex M3 @ 75 MHz
模拟 I/O32/24 通道(16/16 位)
采样率5 kHz 标称
前面板电源开关
3 色状态 LED
以太网 RJ-45
MicroSD 卡插槽
2 个 BNC 插座(每个插座均可输入或输出)
2 个 USB 2.0 端口(B 型和 Micro B型)
固件升级按钮
后面板电源输入
模拟 I/O 插座
气动端口
以太网 RJ-45
1x USB 2.0
RS-232 DB 9
继电器插座
用户界面通过 USB 或以太网的 GUI
权力90-240 VAC,50-60 Hz,最大 100 W
尺寸 (宽 x 深 x 高)16.8 x 9.0 x 1.75 英寸
427 x 229 x 45 毫米
1 个标准 RETMA 单元
功率放大器
渠道8
每个通道的最大电流一个 7
类型线性
峰值功率总计 700 W
冷却环境、强制空气
保护自恢复熔断器,电子热,过流,欠压
操作远程或手动
尺寸1 个 RETMA 机架单元高度 x 15 英寸(381 毫米)深度

































公司介绍:


卡洛斯莫国际贸易(深圳)有限公司,自2016年荣耀启航以来,便扎根于深圳龙华区的经济热土之上,以视野和不懈的努力,在智能装备与精密仪器领域迅速崛起。

我们专注于提供一站式、高品质的智能装备与精密仪器解决方案,产品系列广泛且深入。我们的产品覆盖了制造业的多个关键环节,助力客户提升生产效率,优化产品质量。

此外,卡洛斯莫还致力于产品的研发与销售。这些产品不仅满足了客户在生产过程中的多样化需求,更以其性能和稳定的品质赢得了市场的广泛认可。

为了实现可持续发展,卡洛斯莫不断投入资源于技术创新与产品研发,拥有一支由行业专家和技术精英组成的精英团队,不断推动产品迭代升级,以满足市场日益增长的需求。

同时,卡洛斯莫国际贸易(深圳)有限公司积极拥抱全球化趋势,拓展国际市场。我们与全球多个国家和地区的客户建立了长期稳定的合作关系,通过高效的供应链管理、灵活的贸易模式和优质的售后服务,赢得了国内外客户的广泛赞誉与信赖。




美国TMC气动隔振系统Electro-Damp II






































































































































































































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