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PRODUCTS CENTER美国TMC 压电主动隔振系统STACIS III,STACIS III 是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS 采用先进的惯性振动传感器、复杂的控制算法和先进的压电致动器,通过连续测量地板活动,然后膨胀和收缩压电致动器以过滤掉地板运动,从而实时消除振动。
美国TMC 压电主动隔振系统,STACIS 4 是市面上先进的主动隔振系统。STACIS 采用惯性振动传感器、复杂的控制算法和先进的压电致动器,通过连续测量地板活动,然后膨胀和收缩压电致动器以过滤地板运动来实时消除振动。全新的 STACIS 4 建立在我们成熟的 STACIS 技术的成功基础上,全球 10 大半导体制造商中有 9 家正在使用该技术。
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