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美国TMC 压电主动隔振系统
产品简介

美国TMC 压电主动隔振系统,STACIS 4 是市面上先进的主动隔振系统。STACIS 采用惯性振动传感器、复杂的控制算法和先进的压电致动器,通过连续测量地板活动,然后膨胀和收缩压电致动器以过滤地板运动来实时消除振动。全新的 STACIS 4 建立在我们成熟的 STACIS 技术的成功基础上,全球 10 大半导体制造商中有 9 家正在使用该技术。

产品型号:STACIS 4
更新时间:2024-10-23
厂商性质:其他
访问量:137

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美国TMC 压电主动隔振系统 简介:


  • STACIS 4 是市面上先进的主动隔振系统。STACIS 采用惯性振动传感器、复杂的控制算法和先进的压电致动器,通过连续测量地板活动,然后膨胀和收缩压电致动器以过滤地板运动来实时消除振动。全新的 STACIS 4 建立在我们成熟的 STACIS 技术的成功基础上,全球 10 大半导体制造商中有 9 家正在使用该技术。

  • STACIS 最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现在是嘈杂环境中最敏感仪器的行业标准解决方案,包括但不限于故障分析、纳米技术研究、纳米制造、结构生物学和材料研究等应用。

    STACIS 4 包括一个新的和改进的、低噪音的数字控制器, DC-2020 带有 双核处理器 .这种新的高级控制系统为用户提供了易于使用的图形用户界面 (GUI)。

    STACIS 4 建立在前几代先进架构的基础上,增加了先进的控制算法和新的技术。结果是以前无法实现的建筑物地板振动在所有频率下的振动消除,尤其是在 10Hz 以下,高分辨率成像和计量最敏感。当与获得 FloorSense™ 技术相结合时,STACIS 4 在 2 Hz 时将建筑物地板振动减少 60 dB,在 1 Hz 时减少 27 dB。STACIS 4 的完整性能规格如下。



美国TMC 压电主动隔振系统 特点:

STACIS 的刚度是空气隔振器的数百倍,不受空气隔振系统的任何限制。没有“软"悬架,与主动空气系统不同,STACIS可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方,两个系统都经过充分优化。

串行设计和专有的高力压电技术
可实现 0.2 Hz 至 150 Hz 的宽有源带宽和有源隔振,在 2 Hz

时减振高达 99.9%。甚至比 STACIS III
STACIS 4 更出色的振动控制
,将 2 Hz 的振动控制比行业标准解决方案提高了 60 dB。

强大的串行设计允许您设置它并忘记它,这与竞争对手的并行设计不同,后者本质上不稳定,需要频繁调整以保持最佳性能。此外,STACIS 4 允许在 STACIS 系统之上采用两级振动控制设计,包括被动或主动并联平台。随着仪器被迫达到更精细的分辨率,双平台设计变得越来越普遍。

STACIS 4 的性能相当于在稳定的地板上将振动环境减少多达 5 个 VC 曲线。此外,这种性能使用户能够灵活地将仪器安装在不太理想的振动环境中,从而在设施布局和设计方面具有更大的灵活性。









性能规格
活动自由度6
活动带宽0.2 赫兹 - 150 赫兹
1 Hz 时的隔离85% - 96%
2 Hz 隔离96-99.9%
稳定时间(典型值)0.02 秒
内部噪音<0.05 纳米 RMS
每个隔振器的工作载荷范围低容量:400-1100 磅(182-500 公斤) 中等容量:900-2100 磅(410-955 公斤)
高容量:1900-4500 磅(864-2045 公斤)
刚度(1000 磅/454 千克质量,中等容量隔离器)40,000 磅/英寸(73 x 105牛 / 米)
最大 4 英寸发射的磁场。(102 mm) 距离隔离器<0.02 μG 宽带 RMS <0.02 μG 宽带有效值























隔离器设计、尺寸以及环境和公用工程要求
环境与安全符合 CE 和 RoHS 标准,旨在符合 NRTL 安全认证标准
主动隔离元件压电元件由高压放大器驱动。垂直执行器支持隔离的有效载荷。
无源隔离元件单向同性硬安装弹性体(无需压缩空气供应)
振动传感器元件地震检波器型惯性传感器测量地板振动,并向控制系统提供与振动运动速度成正比的信号
有源反馈控制回路在支撑隔离表面的弹簧下方测量、处理和衰减地板振动
隔振器尺寸 (WxDxH)11.75 x 12.5 x 10.8 英寸 300 x 320 x 275 毫米
隔离器重量75 磅(34 千克)
工作温度50° - 90° F 50° - 90°F
10° - 32° C 10° - 32°C
储存温度-40° - 130° 华氏度 -40° - 55° C
湿度68 华氏度(20 摄氏度)时最大 80%,最大露点:18 摄氏度
系统电源要求100、120、230、240 VAC 50/60 Hz 交流电;符合 <600 W
CE 标准
每个系统的隔离器数量最小值为 3,无最大值
选项层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震约束装置、升降罩


























DC-2020 控制器规格
尺寸 (宽 x 深 x 高)19 x 8.5 x 1.75 英寸 483 x 216 x 45 毫米
重量6.3 磅(2.9 千克)
处理器150/75 MHz 双核
采样率10 kHz 10kHz
模拟输出16 通道
模拟输入16 通道
状态指示灯单个 LED
前面板端口1 个串行 USB 2.0 1 个串行 Micro-USB
1 个以太网 RJ-45 2 个 BNC
后面板端口1 个串行 USB 2.0 1 个以太网 RJ-45
1 个 RS-232 DB-9 传统串行,用于传统 STACIS 2100 隔离器
用户界面前面板 LCD 显示屏 超级终端
上的字符菜单 用于 Microsoft Windows 嵌入式以太网 GUI 的扩展 GUI























公司介绍:


卡洛斯莫国际贸易(深圳)有限公司,自2016年荣耀启航以来,便扎根于深圳龙华区的经济热土之上,以视野和不懈的努力,在智能装备与精密仪器领域迅速崛起。

我们专注于提供一站式、高品质的智能装备与精密仪器解决方案,产品系列广泛且深入。我们的产品覆盖了制造业的多个关键环节,助力客户提升生产效率,优化产品质量。

此外,卡洛斯莫还致力于产品的研发与销售。这些产品不仅满足了客户在生产过程中的多样化需求,更以其性能和稳定的品质赢得了市场的广泛认可。

为了实现可持续发展,卡洛斯莫不断投入资源于技术创新与产品研发,拥有一支由行业专家和技术精英组成的精英团队,不断推动产品迭代升级,以满足市场日益增长的需求。

同时,卡洛斯莫国际贸易(深圳)有限公司积极拥抱全球化趋势,拓展国际市场。我们与全球多个国家和地区的客户建立了长期稳定的合作关系,通过高效的供应链管理、灵活的贸易模式和优质的售后服务,赢得了国内外客户的广泛赞誉与信赖。




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