产品中心
PRODUCTS CENTER美国TMC 压电主动隔振系统STACIS III 简介:
STACIS III 是一种灵活的高级主动隔振系统。STACIS 采用先进的惯性振动传感器、复杂的控制算法和先进的压电致动器,通过连续测量地板活动,然后膨胀和收缩压电致动器以过滤掉地板运动,从而实时消除振动。
STACIS 最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微光刻、计量和检测设备,现在是嘈杂环境中最敏感仪器的行业标准解决方案,包括但不限于半导体制造厂、故障分析实验室、纳米技术研究、纳米制造设施和材料研究。
STACIS III 包括一个新的和改进的数字控制器 DC-2020。凭借新的双核处理器和以太网以及前后板上的 USB 串行端口,这种新的高级控制系统为用户提供了现代且易于使用的图形用户界面 (GUI)。STACIS 在全球范围内成功安装了数百次,是适用于最对振动敏感的仪器的理想隔振系统。
美国TMC 压电主动隔振系统STACIS III 特点:
STACIS 的刚度是空气隔振器的数百倍,不受空气隔振系统的任何限制。没有“软"悬架,与主动空气系统不同,STACIS可以放置在带有内部主动空气隔离系统的工具下方,两个系统都经过充分优化。
串行设计和专有的高力压电技术
可实现 0.6 Hz 至 150 Hz 的宽有源带宽和真正有源隔振,从 2 Hz 开始减振 90%。
活动自由度 | 6 |
活动带宽 | 0.6 赫兹 - 150 赫兹 |
无源固有频率 | 18 Hz 垂直和水平 |
有效有源谐振频率 | 0.5 赫兹 |
1 Hz 时的隔离 | 40% - 70% |
≥2 Hz 时的隔离 | ≥90% |
10 lb (4.5 kg) 步进输入后的稳定时间(减少 10:1) | 0.3 秒 |
内部噪音 | <0.1 纳米 RMS |
每个隔振器的工作载荷范围 | 低容量:400-1100 磅(182-500 公斤) 中等容量:900-2100 磅(410-955 公斤) 高容量:1900-4500 磅(864-2045 公斤) |
刚度(1000 磅/454 千克质量,中等容量隔离器) | 40,000 磅/英寸(73 x 105牛 / 米) |
最大 4 英寸发射的磁场。(102 mm) 距离隔离器 | <0.02 μG 宽带 RMS |
环境与安全 | 符合 CE 和 RoHS 标准 |
主动隔离元件 | 最小容量为 3300 磅(1500 千克)的压电致动器可接收来自输出高达 800 VDC 的高压放大器的信号。垂直执行器支持隔离的有效载荷。 |
无源隔离元件 | 单个刚性各向同性弹性体(无需压缩空气供应) |
振动传感器元件 | 向下的地震检波器型惯性传感器,用于测量隔振器下方的地板振动,并提供与振动运动速度成正比的电压 |
有源反馈控制回路 | 在支撑隔离表面的弹簧下方测量、处理和衰减地板振动 |
隔振器尺寸 (WxDxH) | 11.75 x 12.5 x 10.8 英寸 300 x 320 x 275 毫米 |
隔离器重量 | 75 磅(34 千克) |
工作温度 | 50° - 90° F 10° - 32° C |
储存温度 | -40° - 130° 华氏度 -40° - 55° C |
湿度 | 68 华氏度(20 摄氏度)时最大 80%,最大露点:18 摄氏度 |
系统电源要求 | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz 交流电;符合 <600 W CE 标准 |
地板位移 | <480 微英寸。(12 μm) 低于 10 Hz |
每个系统的隔离器数量 | 最少 3 个 |
选项 | 层压不锈钢平台、框架、立管、调平装置、抗震约束装置、升降罩 |
尺寸 (宽 x 深 x 高) | 19 x 8.5 x 1.75 英寸 483 x 216 x 45 毫米 |
重量 | 6.3 磅(2.9 千克) |
处理器 | 150/75 MHz 双核 |
采样率 | 10 kHz |
模拟输出 | 16 通道 |
模拟输入 | 16 通道 |
状态指示灯 | 单个 LED |
前面板端口 | 1 个串行 USB 2.0 1 个串行 Micro-USB 1 个以太网 RJ-45 2 个 BNC |
后面板端口 | 1 个串行 USB 2.0 1 个以太网 RJ-45 1 个 RS-232 DB-9 传统串行,用于传统 STACIS 2100 隔离器 |
用户界面 | 前面板 LCD 显示屏 超级终端 上的字符菜单 用于 Microsoft Windows 嵌入式以太网 GUI 的扩展 GUI |
公司介绍:
卡洛斯莫国际贸易(深圳)有限公司,自2016年荣耀启航以来,便扎根于深圳龙华区的经济热土之上,以视野和不懈的努力,在智能装备与精密仪器领域迅速崛起。
我们专注于提供一站式、高品质的智能装备与精密仪器解决方案,产品系列广泛且深入。我们的产品覆盖了制造业的多个关键环节,助力客户提升生产效率,优化产品质量。
此外,卡洛斯莫还致力于产品的研发与销售。这些产品不仅满足了客户在生产过程中的多样化需求,更以其性能和稳定的品质赢得了市场的广泛认可。
为了实现可持续发展,卡洛斯莫不断投入资源于技术创新与产品研发,拥有一支由行业专家和技术精英组成的精英团队,不断推动产品迭代升级,以满足市场日益增长的需求。
同时,卡洛斯莫国际贸易(深圳)有限公司积极拥抱全球化趋势,拓展国际市场。我们与全球多个国家和地区的客户建立了长期稳定的合作关系,通过高效的供应链管理、灵活的贸易模式和优质的售后服务,赢得了国内外客户的广泛赞誉与信赖。
扫码加微信
Copyright © 2025卡洛斯莫国际贸易(深圳)有限公司 All Rights Reserved 备案号:粤ICP备16068019号
技术支持:化工仪器网 管理登录 sitemap.xml