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PRODUCTS CENTER美国TMC 压电主动隔振平台STACIS III 简介:
半导体制造工厂 (fab)、纳米技术中心、纳米制造厂和其他精密制造和研究设施通常将洁净室与升高的假地板系统相结合,以适应复杂的设施要求(管道、电缆、燃气管道等)并保持严格的清洁度标准。这种地板对振动敏感型生产、检测和计量设备的安装提出了挑战。活动地板无法为此类工具提供必要的安静振动环境。TMC 的 Quiet Island 是一种创新的解决方案,它用锚定在下面底层地板上的“Quiet Island"取代了一部分高架地板区域。Quiet Island 由一个与洁净室兼容的平台顶部以及一个应用和现场特定的支撑结构组成。®
Quiet Island 主要支撑元件和核心技术是 STACIS III 主动消振系统。这种“刚性"型惯性振动消除支持系统对于任何振动敏感仪器都至关重要,使这些工具能够在其他嘈杂的环境中以最高标准运行。STACIS III 与自动化晶圆加工工具、高分辨率电子束成像工具、离子束铣削工具以及任何带有内部隔振系统的工具兼容,包括被动和主动。此外,它还在市售的最宽频率范围内提供最大的隔振效果。而且,“硬安装"设计非常坚硬,因此对于高大、头重脚轻的工具没有稳定性问题。
对于非常短的活动地板,可以使用 STACIS IIIc 隔振器设计更紧凑的 Quiet Island 版本。
支撑 STACIS 隔振器的极其坚固耐用的立管由 TMC 经验丰富的工程团队设计,并在我们的 ISO 9001 工厂按照高标准和焊接认证制造。每个 Quiet Island 都经过精心设计,以适应各种架空地板高度、底层地板几何形状和工具占地面积。TMC 在全球拥有数千台设备,支持 200 多种不同的仪器型号,拥有设计满足 STACIS 和您设施需求的支持结构的知识和经验。
活动地板平台是 TMC 设计和制造的 4 英寸(100 毫米)厚的钢板层压,夹在轻质、不可压缩的阻尼芯材上。 刚性钢板和芯材的分层效果,环氧树脂粘合成无缝的不锈钢盘,提供了特高的刚度和结构阻尼。大截面和钢含量产生了非常高的整体刚度。顶部和侧面是一个连续的一体式不锈钢外壳,以保持清洁度、外观和完整性。TMC 设计和制造特定于应用的平台,包括根据需要的切口、特殊形状、系紧孔和提升螺栓。
美国TMC 压电主动隔振平台STACIS III 特点:
平台表面 | 不锈钢表面顶部和侧面; 环氧树脂涂漆钢底 |
平台建设 | 专有的多层钢层压板 |
尺寸 | 量身定制 |
标准高度 | 15、18、20、24、30、36、48 英寸 38、46、51、61、76、91、122 cm 也可定制高度 |
负载能力 | 量身定制 |
刚性冒口和支撑 | 经过认证的焊接,全钢结构, 与洁净室兼容的粉末涂层饰面 |
选项 | 约束支架、用于提升的平台顶部吊环螺栓、 用于华夫格型底层地板的桥板 |
平台顶部变化 | 用于工具系紧的开孔、通孔、螺纹孔 |
公司介绍:
卡洛斯莫国际贸易(深圳)有限公司,自2016年荣耀启航以来,便扎根于深圳龙华区的经济热土之上,以视野和不懈的努力,在智能装备与精密仪器领域迅速崛起。
我们专注于提供一站式、高品质的智能装备与精密仪器解决方案,产品系列广泛且深入。我们的产品覆盖了制造业的多个关键环节,助力客户提升生产效率,优化产品质量。
此外,卡洛斯莫还致力于产品的研发与销售。这些产品不仅满足了客户在生产过程中的多样化需求,更以其性能和稳定的品质赢得了市场的广泛认可。
为了实现可持续发展,卡洛斯莫不断投入资源于技术创新与产品研发,拥有一支由行业专家和技术精英组成的精英团队,不断推动产品迭代升级,以满足市场日益增长的需求。
同时,卡洛斯莫国际贸易(深圳)有限公司积极拥抱全球化趋势,拓展国际市场。我们与全球多个国家和地区的客户建立了长期稳定的合作关系,通过高效的供应链管理、灵活的贸易模式和优质的售后服务,赢得了国内外客户的广泛赞誉与信赖。
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