美国现货MKS万机仪器流量控制器
1179C是MKS通用型弹性体密封质量流量控制器，流量范围10-20,000 sccm，响应时间<2秒，预热仅2分钟。采用热传感器，零稳定性优异，兼容早期MKS MFC及电源/读出模块，标准3英寸安装可直接替换。适用于半导体、薄膜等通用气体流量测量与控制。

美国现货MKS万机仪器流量控制器

美国现货MKS万机仪器流量控制器是MKS通用型弹性体密封质量流量控制器，设计用于测量和控制各种应用中的气体流量。该产品提供从10 sccm到20 slm的全刻度范围，可进行快速且可重复的流量控制，可达0.2 sccm，连接合适的压力传感器时也可用作压力控制器。控制范围为满量程的2%到100%，全尺度流量范围覆盖10、20、50、100、200、500、1000、2000、5000、10000、20000 sccm（N2等价）。接头类型包括Swagelok 4 VCR、Swagelok 4 VCO、1/4英寸Swagelok。模拟输入输出连接器为9针或15针D型。封条材料包括Buna-N、氯丁橡胶、Kalrez，配置中可选Viton。最大入口压力150 psig，正常操作压力差为10至40 psid（10至5000 sccm）和15至40 psid（10000至30000 sccm，含MFC出口处的大气压）。典型精度±1.0%满尺寸，重复性±0.2%，分辨率满量程的0.1%。零温度系数满刻度<0.05%，跨度温度系数<0.08%读数/°C，压力系数<0.02%读数/psi。热身时间2分钟，典型沉降时间<2秒，工作温度0°至50°C。功率需求为±15 VDC（启动时200毫安，稳态100毫安），设定点指令信号为0到5 VDC，电压从<20K Ω。湿润材料为316L S.S.、Viton、镍。外部泄漏完整性<1 x 10^-9，闭合阀门泄漏完整性在40 psig进气口大气时<满量程的1.0%。合规CE。该产品是市场上最常见的MFC的直接型合适功能替代品，标准3英寸占地面积使1179C能够直接插入同一空间，无需修改现有燃气管线。电气连接器与工业版D型连接器相同，针脚、信号和功能相同，无需重新布线或连接器。1179C兼容MKS或其他厂商的MFC电源和显示电子设备。性能和可靠性通过严格的MTBF分析和广泛的STRIFE测试得到保障，符合IEC-801关于静电放电和射频干扰环境容忍的规范，并符合欧洲CE标志要求，提供两年保修。配件包括多种质量流量控制器电缆，如CB259-5-10、CB147-12-10、CB147-1-10、100016744、100016745、100016746、100019087、100019088、100019089、RCBDMFC-3-10、RCBDMFC-1-10、RCBDMFC-4-10等。相关产品包括PR4000B数字电源和读出器、946真空系统控制器、GE50A弹性体密封质量流量控制器、179C通用型金属密封质量流量计、PSR1A单通道电源读出和设定点控制器、PSR4A四通道电源读出和设定点控制器。应用领域包括通用气体流量测量和控制，适用于半导体、薄膜、等离子喷涂、渗碳工艺等需要精密气体流量控制的场合。

以上内容基于MKS 1179C质量流量控制器公开技术资料整理，如需更详细的安装尺寸图纸、压接工具选型或选型建议，欢迎联系卡洛斯莫（联系电话：i8566647778，对接人：杨工）。专业技术团队将根据您的具体工况参数提供精准的选型建议与技术支持。卡洛斯莫同时经销Contrinex康睿得、Staubli史陶比尔、CEMBRE森博尔、MW美国、Imaginant美国、Siemens西门子、MinebeaMitsumi美蓓亚三美、SCHUNK德国雄克、SICK德国西克、Toho东邦电子、SUTTER美国、Accuride雅固拉、HELUKABEL和柔等国际品牌产品，如需购买上述品牌的其他产品，也可直接联系卡洛斯莫，我们将为您提供一站式选型与采购服务，助您高效完成设备配套与项目交付。