卡洛斯莫VAT 64.8 UHV控制门阀现已到货

卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司宣布，瑞士VAT 64.8 UHV控制门阀现已到货。该产品用于标准真空控制和隔离，设计用于超高真空工艺中，如溅射或半导体生产中的极紫外（EUV）等应用，实现可靠、精准的控制和隔离，满足耐用性、模块化、防漏性和可维修性的标准要求，特别注重高运转时间和低拥有成本。64.8配备了VATLOCK技术，确保密封可靠且无阀板摩擦。阀板起节流元件的作用，改变阀门开启的导电率，机载压力控制器计算实现设定点压力所需的阀板位置，步进电机执行驱动，编码器负责监控阀板位置，确保快速且准确的工艺压力控制。关闭位置的特殊VATLOCK锁定机构保证了密封泄漏隔离和断电**闭合。通过金属阀盖密封、波纹管密封馈通以及硫化阀板密封（可选O型圈）实现超高真空性能。64.8已在数千个高强度应用中安装，在各种工艺条件下取得**可靠性，凭借其坚固且无润滑剂的设计，满足了高周期真空控制闸阀的所有要求。

VAT 64.8 UHV控制门阀适用于需要超高真空控制和隔离的半导体及**科研工艺场景。典型应用包括溅射、半导体生产中的极紫外（EUV）等超高真空工艺，工艺控制与隔离，以及质子**、正电子发射断层扫描（PET）等医疗和研究领域的真空系统。其金属阀盖密封、波纹管馈通和硫化阀板密封（可选O型圈）实现超高真空性能，压力范围低至1×10⁻¹⁰ mbar；VATLOCK技术确保密封可靠且阀板无摩擦，延长维护周期；机载压力控制器、闭环步进电机和编码器实现快速准确的工艺压力控制；关闭位置的VATLOCK锁定机构保证密封泄漏隔离和断电**闭合；无润滑剂设计减少污染风险，适合超高真空环境；多种设计选项（密封材料、法兰连接、粗加工旁通、通风或计量、特殊控制算法）便于集成；控制器可与阀门分开安装，适应不同安装空间；已在数千个高强度应用中验证可靠性，适合半导体、EUV、医疗设备等对真空度和可靠性要求的行业。

详细介绍

VAT 64.8 UHV控制门阀系列设计用于超高真空工艺中，如溅射或半导体生产中的极紫外（EUV）等应用中，实现可靠、精准的控制和隔离。它满足耐用性、模块化、防漏性和可维修性的标准要求，特别注重高运转时间和低拥有成本。64.8配备了VATLOCK技术，确保密封可靠且无板块摩擦。该板起节流元件的作用，改变阀门开启的导电率。机载压力控制器计算实现设定点压力所需的板位置。步进电机执行驱动。编码器负责监控板的位置。这确保了快速且准确的工艺压力控制。关闭位置的特殊VATLOCK锁定机构保证了密封泄漏隔离和断电**闭合。通过金属引擎盖密封和风箱密封进料通道以及硫化板封（可选O型圈）实现超高真空性能。64.8发动机已安装在数千个高强度应用中，且在各种工艺条件下取得了**的可靠性。凭借其坚固且无润滑剂的设计，它满足了高周期真空控制闸阀的所有要求。

64.8 UHV控制闸阀有多种设计选项，包括密封材料、法兰连接、粗加工（旁通）、通风口或计量，以及特殊控制算法（自适应、下游固定PI/软泵），以简化其在各种真空应用中的集成。控制器也可以与阀门分开安装。该系列尺寸从DN 200到250 mm（8英寸到10英寸）不等，而DN 160（6英寸）和DN 320（12英寸）的尺寸也可按需购买。主要特点包括可靠且经过验证的UHV设计、无润滑剂、VATLOCK技术、坚固的不锈钢车身。优势包括可靠且**的控制与隔离、延长免维护周期、低拥有成本。

技术数据方面，尺寸覆盖DN 160（6英寸）、DN 200（8英寸）、DN 250（10英寸）、DN 320（12英寸）。执行器为集成压力控制器带闭环控制步进电机。阀体材料为不锈钢。馈通为波纹管馈通。标准法兰包括ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS。阀体泄漏率＜5×10⁻¹⁰ mbar·l/s，阀座泄漏率＜1×10⁻⁹ mbar·l/s。压力范围方面，DN 160–200为1×10⁻¹⁰ mbar至1.6 bar（abs），DN 250为1×10⁻¹⁰ mbar至1.2 bar（abs），DN 320为1×10⁻⁶ mbar至1.2 bar（abs）。关闭时阀板压差DN 160–200为≤1.6 bar，DN 250–320为≤1.2 bar。开启时压差≤30 mbar。**维护前循环次数（节流/隔离）为100,000次/30,000次。温度方面，阀体≤80°C，控制器*高50°C（推荐≤35°C）。材料方面，阀体为AISI 304（1.4301），机构DN 160–200为AISI 316L（1.4404）、DN 250为AISI 304（1.4301），波纹管为AISI 316L（1.4404、1.4435）。密封方面，阀盖为金属，阀板为FKM。安装位置DN 160–250任意，DN 320为水平。阀门位置指示为可视（机械和控制器上）。VAT是全球高真空解决方案开发的***，其产品对半导体、显示器和数字技术的生产至关重要。64.8系列广泛应用于质子**、正电子发射断层扫描（PET）、工艺控制与隔离等应用领域。

型号汇总

VAT 64.8 UHV控制门阀系列，尺寸覆盖DN 160（6英寸）至DN 320（12英寸）。材质为不锈钢，法兰可选ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS，控制器可与阀门分开安装。

关于卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司

卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司成立于2016年，位于深圳市龙华区。公司经营机电设备、工业自动化设备、仪器仪表、通信设备等产品的销售与进出口业务，产品广泛应用于汽车制造、轨道交通、半导体、航空航天、能源、医疗、通信等行业。公司现为VAT等国际品牌产品的供应渠道之一，可为用户提供64.8 UHV控制门阀及相关产品的选型与采购支持。

如需了解更多产品信息或咨询采购事宜，欢迎联系卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司。