VAT 64.8 UHV控制门阀：如何满足EUV溅射超高真空控制

在半导体溅射、极紫外（EUV）光刻、质子**、正电子发射断层扫描（PET）等超高真空工艺中，控制门阀需要在1×10⁻¹⁰ mbar级真空下实现可靠、精准的压力控制和隔离。传统门阀常面临几个问题：弹性体密封在超高真空下放气率高，难以达到UHV要求；润滑剂在真空环境中挥发，污染工艺腔体；板与密封面摩擦产生颗粒，影响光学元件和晶圆良率；高循环下密封磨损快，维护周期短。更棘手的是，EUV和溅射工艺对碳氢化合物和颗粒污染极其敏感，任何放气或颗粒都可能导致光学镜面劣化。如何在1×10⁻¹⁰ mbar至1.6 bar压力范围内实现金属密封、无润滑、无摩擦板动作和**压力控制，成为UHV控制门阀选型的核心问题。

64.8 UHV控制门阀系列设计用于超高真空工艺中，如溅射或半导体生产中的极紫外（EUV）等应用中，实现可靠、精准的控制和隔离。它满足耐用性、模块化、防漏性和可维修性的标准要求，特别注重高运转时间和低拥有成本。

核心性能与设计要点

64.8定位清晰：UHV控制门阀、VATLOCK技术、金属阀盖密封、波纹管馈通、无润滑设计。其核心性能与设计信息如下：

• 尺寸：DN 160（6英寸）、DN 200（8英寸）、DN 250（10英寸）、DN 320（12英寸）。

• 执行器：带闭环控制步进电机的集成压力控制器。

• 阀体材质：不锈钢。

• 馈通：波纹管馈通。

• 标准法兰：ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS。

• 泄漏率：阀体<5×10⁻¹⁰ mbar·l/s；阀座<1×10⁻⁹ mbar·l/s。

• 压力范围：DN 160–200为1×10⁻¹⁰ mbar至1.6 bar（abs）；DN 250为1×10⁻¹⁰ mbar至1.2 bar（abs）；DN 320为1×10⁻⁶ mbar至1.2 bar（abs）。

• 板上压差：DN 160–200≤1.6 bar；DN 250–320≤1.2 bar。

• 开启时压差：≤30 mbar。

• **维护前循环：节流（开至*大开）100,000次；隔离（开-关-开）30,000次。

• 温度：阀体≤80°C；控制器*大50°C（建议≤35°C）。

• 材质：阀体为AISI 304（1.4301）；机构DN 160–200为AISI 316L（1.4404），DN 250为AISI 304（1.4301）；波纹管为AISI 316L（1.4404、1.4435）。

• 密封：阀盖为金属；板为FKM（可选O型圈）。

• 安装位置：DN 160–250任意；DN 320水平。

• 阀门位置指示：可视（机械和控制器上）。

• 特色：可靠成熟的UHV设计；无润滑剂；VATLOCK技术；坚固不锈钢阀体。

• 设计选项：密封材料、法兰连接、粗抽（旁通）、放气或计量、特殊控制算法（自适应、下游固定PI/软泵）；控制器可与阀门分开安装。

• 应用：溅射、EUV、质子**、PET、过程控制与隔离。

• 产品型号：64.8系列。

金属阀盖密封与波纹管馈通

64.8的核心UHV设计，是金属阀盖密封和波纹管馈通。通过金属阀盖密封和波纹管密封进料通道以及硫化板封（可选O型圈）实现超高真空性能。金属阀盖密封避免了弹性体在UHV下的放气，波纹管馈通将传动机构与真空环境隔离，减少了润滑剂挥发和颗粒进入工艺腔体的风险。

对于EUV和溅射工艺，碳氢化合物和颗粒污染控制至关重要。金属密封和波纹管馈通减少了放气源，有助于保持UHV环境和光学元件清洁。

VATLOCK技术与无润滑设计

64.8配备VATLOCK技术，确保密封可靠且无板块摩擦。板起节流元件的作用，改变阀门开启的导电率。关闭位置的特殊VATLOCK锁定机构保证了密封泄漏隔离和断电**闭合。

坚固且无润滑剂的设计满足了高周期真空控制闸阀的所有要求。无润滑剂减少了真空污染源，延长了维护-free周期。

高精度压力控制与100,000次节流

64.8采用带闭环控制步进电机的集成压力控制器。机载压力控制器计算实现设定点压力所需的板位置，步进电机执行驱动，编码器监控板位置，确保快速且准确的工艺压力控制。

**维护前节流循环100,000次，隔离循环30,000次。对于EUV和溅射等需要频繁压力调整的工艺，高循环设计减少了维护频次。

大口径与宽压力范围

64.8尺寸覆盖DN 160至320mm，压力范围：DN 160–200为1×10⁻¹⁰ mbar至1.6 bar（abs）；DN 250为1×10⁻¹⁰ mbar至1.2 bar（abs）；DN 320为1×10⁻⁶ mbar至1.2 bar（abs）。板上压差DN 160–200≤1.6 bar，DN 250–320≤1.2 bar；开启时压差≤30 mbar。

阀体材质为不锈钢，法兰可选ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS，适应不同UHV系统接口。设计选项包括密封材料、法兰连接、粗抽（旁通）、放气或计量、特殊控制算法，控制器可与阀门分开安装。

面向UHV真空控制的选型路径

从金属阀盖密封、波纹管馈通、无润滑剂设计、VATLOCK技术、1×10⁻¹⁰ mbar至1.6 bar压力范围、DN 160至320mm、<5×10⁻¹⁰ mbar·l/s阀体泄漏率、<1×10⁻⁹ mbar·l/s阀座泄漏率、100,000次节流循环、30,000次隔离循环、闭环步进电机集成压力控制器、编码器板位置监控、断电**闭合、多种设计选项和分离控制器安装，到适用于溅射、EUV、质子**、PET、过程控制与隔离，VAT 64.8 UHV控制门阀并不是普通门阀的简单替代，而是围绕超高真空清洁度、可靠密封和**压力控制需求的系统性方案。

对于溅射、EUV、质子**、PET、过程控制与隔离等领域的终端用户和OEM而言，64.8用金属阀盖密封、波纹管馈通、无润滑设计、VATLOCK技术和100,000次节流循环，为UHV压力控制与隔离提供了清晰答案。